证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种沉积设备”，专利申请号为CN202520454102.4，授权日为2026年4月21日。

专利摘要：本公开提供一种沉积设备，包括炉管主体、位于炉管主体的进气端的进气系统、位于炉管主体的出气端的出气系统以及位于炉管主体内壁的保护系统，进气系统用于向炉管主体内部通入工艺气体，出气系统用于抽取炉管主体内部的气体，这样利用进气系统提供沉积所需要的工艺气体，利用出气系统抽取气体以保证工艺气体的纯度和反应腔的压力。保护系统包括进气管路和抽气管路，进气管路用于输出保护气体，抽气管路用于从进气管路侧抽取炉管主体的气体，这样保护气体从进气管路向抽气管路流动，进气管路和抽气管路设置在炉管主体的内壁，因此保护气体构成炉管主体内壁上的隔离气幕，隔离工艺气体和炉管主体内壁，避免炉管主体内壁镀膜造成的碎裂问题。

今年以来微导纳米新获得专利授权27个，较去年同期增加了3.85%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息632条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。